文部科学省科学技術振興調整費「京都大学・キヤノン協働研究プロジェクト」高次生体イメージング先端テクノハブ

デバイス（MEMS-DM）

　MEMS(Micro Electromechanical Systems)技術を用いて実現する小型・高性能デバイスにより、医療用イメージング技術の高度化に貢献する。ターゲットデバイスは、網膜断層像(OCT)の可変ミラーデバイス、および磁気共鳴画像(MRI)用の高感度原子磁気センサ（AMM/MRIグループの項参照）である。特に、圧電薄膜材料の成膜、微細加工技術、ガス封止・接合技術、数値計算を援用したデバイス最適設計技術などの独自の要素基盤技術を駆使することで優位性の高いデバイスを実現する。

原子磁気センサセル   犠牲流路チップ用4inchシリコンウエハ

OCT用位相補償ミラー（電極面）   OCT用位相補償ミラー（ミラー面）

 

ロードマップ

グループ

田畑 修	工学研究科　教授	[研究室]
土屋 智由	工学研究科　准教授	[研究室]
泉井 一浩	工学研究科　准教授	[研究室]
平井 義和	工学研究科　助教	[研究室]
シング　ビジャエ・クマール	工学研究科　特定研究員	[研究室]
沖野 ミリ	工学研究科　教務補佐員	[研究室]